先进纳米制造技术及二维光电子器件研究

讲座名称：先进纳米制造技术及二维光电子器件研究

讲座人：郑小睿

讲座时间：1月19日9:30

讲座地点：腾讯会议直播（ID：408 172 505）

讲座人介绍：

郑小睿博士，西湖大学工学院研究员，独立PI，博士生导师。先后在武汉大学、中国科学院物理研究所、澳大利亚斯威本科技大学获得学位，博士期间获“国家优秀自费留学生奖学金”。2016年起在美国加州大学圣地亚哥分校从事博士后研究，2017年获IBM苏黎世研究中心及瑞士SwissLitho公司研发资助，先后在美国纽约先进科学研究中心、纽约大学从事博士后研究，研究方向为扫描探针制造低维纳米光电器件。2020年9月加入西湖大学，组建先进制造与纳米芯片实验室（Alien Lab）。郑小睿博士曾获国家海外高层次人才（青年）项目、浙江省海外高层次人才项目、及国家自然科学基金项目资助，担任国家自然科学基金委员会项目评审专家，及浙江省3D微纳加工和表征研究重点实验室副主任。

讲座内容：

微纳加工技术是衡量国家高端制造业水平的标志，对微纳光电子器件及系统的研发至关重要。同时，二维半导体材料具有优异的光学和电学特性，在单原子厚度时转变为直接带隙半导体，可有效抑制传统硅基电子器件的短沟道效应，进一步缩小电子器件尺寸、降低能耗、提升器件性能。然而，传统的微纳加工技术在研发高性能二维光电子器件中具有一定的局限性，包括二维电子器件普遍存在的接触电阻大、载流子类型单一、掺杂浓度低、以及二维光功能器件中的相位调控能力弱、非线性光学效应弱等难题。

本次报告将介绍新型微纳加工技术，即热扫描探针直写技术和激光直写技术，并基于该技术，研究了二维半导体材料的晶体缺陷调控规律，实现了优于传统半导体加工手段的单原子层场效应晶体管及半导体二极管，分别具有当前最优的晶体管开关比及二极管整流比，对低维半导体芯片的制造及实际应用起到推动作用。另一方面，利用二维石墨烯材料光学折射率高、损耗低、物性调控范围大等优异光学性质，探索了石墨烯的激光纳米加工方法，实现了超薄石墨烯光学微透镜及悬空式石墨烯中红外偏振片，在高分辨率生物显微成像、内窥镜、红外探测及空间科学等方面具有重要的应用前景。

主办单位：微电子学院