【航天文化节|空间科学青年学术沙龙】第三期：等离子体电磁科学及应用

沙龙名称：等离子体电磁科学及应用

沙龙时间：5月21日14:30

沙龙地点：南校区G240报告厅

主办单位：空间科学与技术学院

报告1：大气压等离子体物理及其应用

讲座人介绍：

徐晗，男，亚博足彩空间科学与技术学院讲师。2015年获西南交通大学电气工程及其自动化专业学士学位，2020年获西安交通大学电气工程学院工学博士学位；2018年9月至2019年9月于英国拉夫堡大学访学交流。主要研究方向为等离子体技术及应用，包括等离子体物理、等离子体产生及诊断、等离子体灭菌消杀、等离子体“碳中和”等，发表SCI论文十余篇。

讲座内容：

大气压等离子体是一种部分电离的气体，含有带电离子、高能电子、激发态原子、分子和自由基等多种活性成分，同时伴随着光辐射和电磁辐射等物理效应。凭借均匀稳定的放电特性及较强的化学活性，大气压等离子体在生物医学、材料处理、化学氧化等诸多领域展现出良好的应用潜力和商业价值。但现阶段，由于大气压等离子体技术的温度问题、气味问题、剂量问题及皮肤接触等问题尚未解决，导致等离子体技术的民用产业化存在重要瓶颈。航天等离子体领域的电磁调控技术可以有效调控等离子体强度、形态及有效活性成分，通过该技术的JM融合转化，有望实现民用等离子体技术及产品的突破升级。

报告2：高超声速飞行器载雷达探测研究

讲座人介绍：

宋黎浩，男，2012年毕业于亚博足彩机电工程学院，2015年毕业于亚博足彩电子工程学院，2020年获得亚博足彩空间科学与技术专业博士学位，2019年至2020年赴南洋理工大学访学一年，2020年12月份入职亚博足彩空间科学与技术学院。研究方向为高超声速飞行器载雷达探测与成像。

讲座内容：

高超声速飞行器载雷达具有广泛的应用前景。相对于传统飞行平台，高超声速飞行器有着高空、高速、高机动、难以拦截等特点，特别适合作为未来的飞行器载雷达平台。然而高超声速飞行器载雷达的应用会遇到诸多挑战，高超声速飞行器飞行速度更高，飞行状态更加复杂，传统的雷达信号处理方法不能适应于如此复杂的情况；更为严重的是，高超声速飞行器在飞行过程中产生的等离子鞘套会带来新的挑战，降低雷达探测性能。针对该重大问题，从雷达信号在等离子鞘套中的传输特性及计算方法入手，开展等离子鞘套下高超声速飞行器载雷达探测研究，可以为高超声速飞行器载雷达的应用提供技术支撑与储备。

报告3：脉冲调制射频感性耦合等离子体的基本放电特性

讲座人介绍：

薛婵，2014年毕业于大连理工大学物理与光电工程学院电子科学与技术专业，后直接攻读大连理工大学物理学院等离子体物理专业博士，并于2019年毕业。2020年至今，于亚博足彩空间科学与技术学院任职，主要研究方向为针对半导体芯片生产工艺中的等离子体刻蚀技术，利用数值模拟和实验诊断相结合的研究方法，探究脉冲调制射频感性耦合等离子体的基本放电特性。

讲座内容：

随着半导体科技的飞速发展，电路的集成度越来越高，晶圆的刻蚀线宽也越来越窄（小于5 nm）。但是，在传统的连续波射频等离子体刻蚀过程中，出现的诸多问题也愈发严重，如电荷积累、高能离子轰击等效应会造成刻蚀形貌畸变，损伤晶圆，最终造成芯片刻蚀良率降低。为解决这些难题，人们提出了将射频源进行脉冲调制。研究表明，对于刻蚀工艺的常用射频感性耦合等离子体源，将射频源进行脉冲调制后，可获得高刻蚀选择性、高刻蚀速率、高各向异性、更好的均匀性、较小的晶圆损伤、较理想的刻蚀形貌的等离子体刻蚀环境，为未来高深宽比的接触孔/沟槽刻蚀提供了可能。本次报告针对脉冲调制射频感性耦合等离子体，重点介绍等离子体的研究方法及放电特性，并探讨目前研究过程中遇到的难题。